真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對容器進行抽氣，以獲得和維持低于大氣壓的負壓狀態(tài)的設備。

       下面是常見的4種真空泵的工作原理

1. 水環(huán)式真空泵：水環(huán)式真空泵的葉片偏心地裝在圓柱形泵殼內，泵內注入一定量的水。葉輪旋轉時，將水甩至泵殼形成一個水環(huán)，環(huán)的內表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環(huán)間的進氣空間逐漸擴大，形成真空，使氣體經(jīng)進氣管進入泵內進氣空間。隨后氣體進入左半部，由于轂環(huán)之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強，于是氣體經(jīng)排氣空間及排氣管被排至泵外。
2. 旋片式真空泵：旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2（pa），屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵的工作原理是電機旋轉運動通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而壓縮、拉伸泵腔內的空氣形成真空，在抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再從排氣口排出。

3. 隔膜真空泵：隔膜式泵利用特殊設計加工的柔性隔膜取代活塞，在驅動機構作用下實現(xiàn)往復運動，從而壓縮、拉伸泵腔內的空氣形成真空，在抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再從排氣口排出。

      無油真空泵的工作原理主要是以下2種：

（1）通過容積變化實現(xiàn)抽氣過程。無油真空泵的泵體內有一個可以活動的機械部件，工作時，這個部件會不斷改變泵的容積。當容積變大時，泵體內的氣體被吸入；當容積變小時，吸入的氣體被壓縮并從出口處排出。

（2）通過高速旋轉的葉片或旋片實現(xiàn)抽氣過程。無油真空泵的葉片或旋片高速旋轉時，會帶動泵內的氣體一起旋轉，在離心力的作用下，將氣體從泵的入口處甩到出口處，從而實現(xiàn)氣體的抽取與排出。

      真空泵還有其他不同的種類，如往復式真空泵、羅茨真空泵、油擴散泵等，每種類型的工作原理和特點都不同。